Procédé de fabrication des barres de carbure de silicium et des barres de molybdène de silicium

Procédé de fabrication des baguettes de carbone (baguettes de carbone de silicium)

Préparation des matières premières: la poudre de carbure de silicium de haute pureté est lavée à l'acide et à l'alcali pour éliminer les impuretés, mélangée avec un liant de résine phénolique et une petite quantité d'additifs pour fabriquer une ébauche plastique.

Moulage: les baguettes droites sont extrudées, et les pièces complexes de forme spéciale sont pressées isostatiquement (compactage à haute pression de 100-200 MPa) pour obtenir une ébauche d'une forme définie.

Séchage: séchage progressif à 60-150℃ pour éliminer l'humidité et les matières volatiles afin d'éviter les fissures de frittage.

Frittage: frittage à 1600-2200℃ dans une atmosphère inerte, les particules de carbure de silicium sont combinées par diffusion en phase solide pour former une structure dense.

Traitement des électrodes: une suspension métallique est pulvérisée aux deux extrémités et cuite pour former une couche conductrice, et la taille est corrigée par meulage pour compléter le produit fini.

Procédé de fabrication des baguettes de molybdène

Préparation de la poudre de molybdène: le molybdate d'ammonium est calciné pour générer du trioxyde de molybdène, puis l'hydrogène est réduit en deux étapes (500-1100℃) pour obtenir de la poudre de molybdène de haute pureté (pureté ≥99,95%).​
Moulage: la poudre de molybdène est chargée dans le moule et pressée en une ébauche verte par pressage isostatique à froid (150-200 MPa).​
Frittage: frittage à haute température à 1800-2200℃ sous protection d'hydrogène, les particules de poudre de molybdène sont fusionnées et la densité atteint plus de 98 % de la valeur théorique.​
Usinage et traitement thermique: laminage ou forgeage à chaud à 1200-1400℃ pour réduire le diamètre et améliorer la résistance ; recuit à l'hydrogène à 1000-1200℃ pour éliminer les contraintes.​
Finition: meulage fin du cercle extérieur pour contrôler la tolérance (±0,02 mm), coupe à une longueur fixe pour garantir que la rugosité de surface est conforme à la norme.​
Les deux nécessitent un contrôle strict de la pureté des matières premières et s'appuient sur une atmosphère protectrice pour éviter l'oxydation pendant la production. Les baguettes de carbone se concentrent sur le processus de frittage pour contrôler la conductivité, tandis que les baguettes de molybdène sont essentielles pour réduire la poudre et le traitement à chaud afin d'assurer la résistance. En fin de compte, les deux doivent passer des tests de densité et de résistivité pour garantir la qualité.